技术编号:10538198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着科学技术的发展,微型驱动技术在超精密机械及其制造、精密测量、生物医疗等学科领域中占据越来越重要的地位,各种形式各异的具有精密驱动、精密定位的新型驱动器被陆续开发出来。而压电陶瓷材料具备的高精度、响应快、驱动力大、驱动功率低、工作频率宽、不受电磁干扰等优点,随着压电元件性能的不断发展提升以及加工技术水平的进步,近年来,由此类元件作为微小驱动的微纳米级精密驱动器越来越受到关注。然而,现有的压电式微型驱动器结构相对复杂,加工困难,成本较高,并且多为刚性结构,...
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