借助于激光处理和温度诱导的应力的组合的晶片制造法技术资料下载

技术编号:10540241

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在许多中(例如微电子或光伏技术)需要通常为薄的片和板形式(所谓的晶片)的材料,如硅、镓或蓝宝石。按标准,现在通过锯割从晶棒中制造这种晶片,其中产生相对大的材料损耗(“kerf-loss(切割损失)”)。因为所使用的初始材料通常是非常昂贵的,所以极为渴求以小的材料耗费并进而更高效且成本更低地制造这种晶片。例如,以现在常见的方法仅在制造用于太阳能电池的硅晶片时作为“kerf-loss”就损失所使用的材料的几乎50%。在世界范围来看,这对应于每年超过二十亿欧元的...
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