技术编号：10540802
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光刻设备是将所希望图形施加至衬底上、通常至衬底的目标部分上的机器。光刻 设备可以例如用于集成电路（1C)的制造。在该实例中，备选地称作掩模或刻线板的图形化 装置可以用于产生将要形成在1C的单个层上的电路图形。该图形可以转移至衬底（例如硅 晶片)上的目标部分(例如包括一个或数个裸片的一部分)上。图形的转移通常是经由成像 至提供在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂）的层上。通常，单个衬底将包含后续图形化的相 邻目标部分的网络。在光刻方法中，频繁地希望对所形成结构进...
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