技术编号:10548758
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。表面工程是通过表面预处理,采取表面涂敷、表面改性或者多种表面技术复合处理,改变固态金属或者非金属的表面形态、化学成分、组织结构和应力状态,以获得所需的表面性能的系统工程。在材料表面沉积一层或多层与其性质完全不同的薄膜已经成为提高基体材料性能的有效途径之一。镀膜材料中的靶材是影响薄膜质量的关键因素。随着薄膜技术的发展,镀膜材料也不断更新。氮化钛是工艺最成熟,应用最早和最广泛的一种薄膜材料。在此基础上通过元素掺杂发展出了更多的新型薄膜材料,如氮化钛铝、碳氮化钛...
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