三角形单晶硅支撑粱结构式x射线氮化硅窗口构造及其制备方法技术资料下载

技术编号:10554270

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X射线荧光分析仪、SEM的能量色散谱分析系统(EDS)、X射线仪器的太空应用和许 多其他X射线设备均需要优质的耐压及耐受高低能量X射线(软X射线)的透过率窗口。X射线 窗口需要满足超薄、耐高温、耐振动、机械强度高、支撑结构所占面积小于25%以及能够耐 受至少一个大气压强差等要求,以保证X射线的透射率和X射线设备的真空要求。这就对X射 线窗口的材料性能、结构设计与制备工艺提出了较高的要求。 低原子序数的金属铍具有良好的X射线透过率,但是其机械强度较差,薄膜...
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