技术编号：10554393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。短波红外铟镓砷探测器可在室温工作，而且性能优越，使得它们在航天、安防、国防等领域有着广泛的应用潜力。在电子产业领域中，由于追求更高的集成度和更快的速度从而推动了整个产业的发展。然而，高集成度的发展需求同时增加了焦平面和读出电路设计及互连的难度。大规模红外探测器与读出电路的连接一般采用倒装互连的方式，倒装互连技术虽然能满足当前要求，但是对于超大规模红外探测器，受限于材料尺寸和芯片制备工艺，其像元间距也随之缩小，这必然会导致读出电路铟柱和芯片铟柱尺寸的缩小。铟...
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