技术编号：10554404
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由于环境污染问题的日益严重及矿石等能源的日益紧缺，太阳能光伏行业近年来得到了快速的发展。光伏行业的核心一一太阳能电池主要通过高纯硅片制备而成，其包括制绒、扩散、PECVD、丝网印刷机烧结等相关工序，各工序的工艺都比较复杂，尤其是扩散，其目的是制备太阳能电池PN结，扩散工艺的均匀性及PN结的制备均对太阳能电池的转换效率有较大影响。目前太阳能电池生产过程中，清洗后的硅片会直接进入扩散炉管，扩散工艺中主要是以N2、02及POCl3等为原料气体，通过气体间在高温下...
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