技术编号:10554414
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。石墨烯是由一层或多层所构成的二维材料,应用在氮化镓基外延片上,由于石墨烯层与氮化物外延层在界面连接处形成键能较弱的分子键,这使石墨烯层和氮化物外延层之间的剥离提供可行性。石墨烯应用在氮化镓基外延片结构上一般有两种方式,一是使用碳化硅基板在1500°C左右的高温度下将硅原子升华完成石墨化;另一种方式是将石墨烯材料直接转移置于氮化镓基外延片的基板上,并在此石墨烯材料上完成后续外延层的成长。第一种方式氮化镓基外延片成长基板限定使用碳化硅,和现今大量使用的蓝宝石基...
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