技术编号:10557023
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 压力是物理量,其与作用于表面上的力与该表面的面积的比率相对应。可用作测 量压力的计量器的装置是压力传感器。 微机电系统或MEMS可以被定义为小型化机械和机电系统,其中,至少一些元件具 有某种机械功能。因为利用用于创建集成电路的相同工具来创建MEMS装置,所以可以在硅 片上制造微型机器和微电子元件以实现各种类型的装置。 图1图示了用于感测压力的微机电装置的示例性结构。微机电压力传感器可以包 括横跨间隙12的薄隔膜10,间隙12包含在参考压力下的挥发性物质。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。