技术编号：10557236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了观察物体的微小区域的内部构造，使用了扫描型透射电子显微镜(STEM)、透射型电子显微镜(TEM)等。作为用于使用这样的电子显微镜来观察样本内部的普通的观察方法，已知在具备许多空孔的网状的样本台上配置被切薄到电子束能够透射的程度的样本，通过相对于样本面配置在与电子源侧相反的一侧的检测器，取得透射电子束。但是，在该方法中，为样本在网的空孔上浮出的结构，因此搭载到样本台上的操作非常困难。因此，在专利文献I中提出了能够直接载置观察用的样本的电子检测器。另外，不...
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