技术编号:10565722
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。铁氮磁性薄膜由于具有优异的磁性能、高抗腐蚀性能和耐磨损性能,在磁性薄膜器件领域有巨大的应用前景。目前,可以用分子束外延、离子注入和磁控溅射等多种薄膜制备方法成功制备出特定结构的Fe-N磁性薄膜。发明人采用脉冲激光沉积(PLD)方法也制备铁氮薄膜。通过在真空腔体中引入反应气体,PLD技术利于制备多种复杂的氧化物和氮化物薄膜,还可以得到某些室温非平衡态固溶体或化合物。γ ’-Fe4N材料在理论和实验上都被证明具有极高的自旋极化率和高饱和磁化强度,在自旋电子学器...
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