敏紫外硅光敏三极管的制作方法技术资料下载

技术编号:105667

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本实用新型涉及一种半导体光电探测器,它是一种对紫光和紫外光敏感的硅光敏三极管,可以探测从紫外到近红外光谱区的入射光。现有的硅光敏三极管,都是以基区作为直接受光面。当有光照射在硅光敏三极管上时,由于光在硅中的吸收系数随波长而异,长波长的光在硅中的吸收系数小,可以透过基区而在集电区中被吸收,短波长的光如紫光和紫外光在硅中的吸收系数很大(α=105cm-1-106cm-1),因此,它们在基区表面很薄的一层内就几乎被完全吸收。因为基区掺杂浓度较高,其表面浓度一般在1018cm-3以上,使基区中少子扩散长度变得很短,那些由紫...
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