技术编号：10568236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光栅是一种重要的光学器件，广泛应用于各种光学系统(例如天文望远镜系统和激光惯性约束核聚变系统)中。随着光学系统的不断发展，各种光学系统对光栅的尺寸要求也越来越大，而生产单块大尺寸(米量级或以上量级)光栅存在诸多技术难题。因此现今主流的大尺寸光栅的生产方式通常为采用两块或多块相对小尺寸光栅进行拼接，获得拼接光栅的方式。但是拼接光栅间的相对位置精度要求很高，高精度的拼接误差检测手段是拼接光栅能够适用的重要前提。现有技术中对拼接光栅的拼接误差检测方法主要包括干涉...
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