技术编号:10568322
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。空气轴承技术,以其高速、高精度、无摩擦、无污染等优点而被广泛应用在航空航天、微光刻技术、纳米表面形貌测量、高精密机床研发等高、精、尖,它为这些领域提供了一个可以实现超精密定位、检测和移动的平台或轴系。空气轴承精度和稳定性直接体现在气膜的性能(即承载和刚度)上,影响气膜性能的关键因素为空气轴承的节流性能,而影响节流性能的因素主要有节流器的数量、节流孔直径、气源压力、均压槽深度等。通过实验研究可以获取在气膜性能最优时各节流参数的最优值范围,从而有效的指导空气轴...
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