暂时性复合式载板的制作方法技术资料下载

技术编号:10571434

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图1A显示传统载板I为单层材料所制成,载板I的上方提供半导体制程处理区域,图中显示一系列的增层(build-up layer) 10制作于载板I的上表面。图1A的范例显示增层10包含电路15与介电材料16。其他不同产品,例如多芯片封装的处理(图中未表示)也可以放置在载板I上面,进行加工处理。在后续的程序中,成品或是半成品,会自载板I上方剥离,进行其他的处理程序,然后,载板I可以回收,再重新利用。图1B显示更多增层10被制作了,形成增层105。载板I以及上面...
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