技术编号：10571525
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS(微机电系统，Micro-Electro Mechanical System)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术。MEMS技术的操作范围在微米范围内。MEMS技术是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料。在MEMS红外焦平面阵列探测器(红外热成像传感器)制造工艺中，金属层的蚀刻，由于只需蚀刻掉Al，但要保留Ti，故采用湿法蚀刻的方法。湿法蚀刻后，Ti的表面总是会有Al...
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