一种Littman结构可调谐外腔半导体激光器的制造方法技术资料下载

技术编号:10571950

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可调谐半导体激光器具有线宽窄、波长可调谐、体积小等优点,相较于传统激光 器,可调谐外腔半导体激光器通过外延展谐振腔和激光器内腔匹配,实现波长连续无跳模 调谐,在精密测量,原子物理等领域发挥着重要的作用。尤其在大尺寸装配领域,激光测距 技术成为装配过程空间位姿检测的关键支撑技术。给予可调谐半导体激光器的光频扫描干 涉测距(requency scannedinterferometry,FSI)系统可实现无导轨绝对距离测量,是一种 更适合工业现场大尺寸测量领域应...
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