技术编号：10573845
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有技术的MEMS力管芯基于将施加的力关联至包括四个压阻应变计的感测隔膜的中心。隔膜周围设置有接触垫，这使得现有力管芯相对较大。此外，现有MEMS力管芯十分易碎，缺乏其他力感测技术诸如力敏电阻器的稳健性，并且易于因外部环境而碎裂。因此，相关中需要一种小型、低成本的硅力传感器，该传感器可以被密封并且对于机械过载具有良好的稳健性。发明内容本发明涉及一种微机电(“MEMS”)力传感器，该传感器包括设置在管芯周边的多个紧凑型感测元件。每个感测元件由弯曲部分和压阻应...
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