技术编号:10574727
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅铸锭采用坩祸作为容器,目前坩祸喷涂的工艺为在喷涂房内,将超纯氮化硅粉末、硅溶胶和去离子水混合形成乳浆状溶液,再对乳浆状溶液进行搅拌并加热,操作人员打开喷涂操作台上的气阀和蠕动栗,用手动喷枪将加热后的溶液喷涂到坩祸内表面,常温下干燥形成氮化硅膜喷涂层。现有的喷涂设备存在以下缺陷1、长时间使用后容易导致固定装置松动及卡死,松动及卡死后搅拌棒搅拌不规律,导致氮化硅粉搅拌不均匀;2、喷涂完需将气动马达手动抬起操作不方便,长时间倾斜摆放易使搅拌棒弯曲。发明内容...
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