陀螺传感器及其制造方法、电子设备以及移动体的制作方法技术资料下载

技术编号:10576766

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近年来,开发了一种例如利用娃MEMS(MicroElectro Mechanical System微电子机械系统)技术而对角速度进行检测的角速度传感器(陀螺传感器)。在专利文献I中公开有一种陀螺传感器,其中,具有对增益以可变的方式进行控制从而实施灵敏度调节的灵敏度调节电路。在专利文献I的陀螺传感器中,当为了提高输出灵敏度而使灵敏度调节电路的增益增加时,噪声也被放大。因此,在专利文献I的陀螺传感器中难以改善S/N比。专利文献I日本特开2007-327945号...
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