氦气的纯化方法和纯化系统的制作方法技术资料下载

技术编号:10578649

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作为例如MRI的冷却用液体、制造光纤时的多孔基材形成工序或拉线工序等中的气氛气体或冷却气体所使用的氦气,仅以美国或中东各国等的海外产天然气的副产品形式被少量生产。另外,现在世界范围内的氦气供给吃紧,氦气价格随之上升。进而,认为在以亚洲为中心的新兴国家的制造业对氦气的需求今后还会增加。但是,今后氦气的稳定供给令人担忧。如此,氦气的资源性高且贵重,因此为了自使用设备中进行再利用而回收氦气是有用的。所以,希望对混入了大量空气等杂质气体的稀薄氦气进行回收并纯化成高...
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