技术编号:10578807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。液晶显示器或平板通常使用于有源矩阵显示器,诸如计算机和电视机监视器。一般采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在基板(诸如用于平板显示器或半导体晶片的透光基板)上沉积薄膜。一般通过将前驱气体或气体混合物(例如,硅烷(SiH4)和氮气(N2))引入容纳有基板的真空腔室中实现PECVD。前驱气体或气体混合物通常被向下引导以通过位于腔室顶部附近的分布板。通过从耦接到腔室的一或多个RF源将射频(RF)功率施加至腔室,腔室中的前驱气体或气体混合物被激发(例如激励...
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