技术编号：10580027
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用如图14所示的石墨舟，具体操作过程是将硅片插入石墨舟并通过石墨舟工艺点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。现有的石墨舟工艺点主要由卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的柱体形安装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部两端面上，卡块是自外向内渐缩的圆柱体，其端面与侧面之间...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。