技术编号：10588360
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 铟镓锌氧化物（IGZ0)由于其高的场效应迀移率、光透明性以及在低温下的可加工 性而最有希望成为用于柔性显示底板的TFT中的下一代有源通道材料。尽管其存在希望，但 是由于其对环境的灵敏度，IGZO TFT经受不可靠的器件操作。特别地，存在于环境空气中的 小分子物质在暴露的背后通道层上的吸附/解吸以及光敏性（子间隙光响应（subgap photoresponse))可改变IGZ0薄膜中的载流子浓度。这导致TFT阈值电压(VTH)的转变，其随 着时间的推移而导...
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