技术编号：10592081
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。实验室地基及放置仪器平台的振动对微纳测量结果有严重的不利影响，特别是低频振动。精确测量实验环境的低频振动是实施主动隔振的前提，即使不隔振也可根据振动测量结果选择振动小的时间段去进行微纳测量活动。目前测量振动的主要方法有机械式、电气式和光学式三种。机械式测量方法的抗干扰能力较强，但是它线性宽度较窄，测量的精度不高；电气式测量方法的灵敏度高，但易受电磁场的干扰;而光学测量方法测量精度高、频率幅度宽、绝缘性能好、而且不会引起电网谐振，是实现高精度振动测量的主要方...
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