一种基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器的制造方法技术资料下载

技术编号:10593049

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随着光网络通信的发展,人们希望通过改善光通信技术来提高器件的工作特性, 并且降低相应的工艺难度和制作成本。作为光通信技术的核屯、器件,光波导调制器的研制 逐渐趋于小型化,低功耗,低插损,快响应等。另一方面,正在建立和完善中的全光网络迫切 的需求稳定且具有多种功能的集成光波导器件。综合考虑运些因素,波导环形调制器是目 前的最佳解决方案之一。 由于结构与工艺比较简单,且尺寸小、容差率高,所W波导环形调制器常常被用于 进行大规模的单片集成。但是,目前所普遍采用...
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