技术编号：10595875
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 长期以来，硅(Si)材料一直在半导体领域占据着主导地位，并应用于高温、高频电 路当中。但随着技术的进步和应用领域的扩展，在一些要求苛刻的领域如航空航天、军工、 石油勘探、核工业和通讯等，由于其超大功率、高温高频以及强辐射的环境条件，传统的硅 (Si)和砷化镓(GaAs)半导体材料出于自身结构和特性等原因，越来越显得"力不从心"。 相比于传统的半导体材料，4H碳化硅(4H_SiC)具有以下几个优势（1)化学性质稳 定，可以通过热氧化生成优质的绝缘层；（2)...
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