技术编号：10595907
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着半导体、计算机、太阳能等产业的发展，一种新的功能材料一一透明导电氧化 物薄膜(transparent conducting oxide，简称TC0薄膜)随之产生、发展起来。这类薄膜具 有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等光电特性，在半导体光电器件领域、太阳能 电池、平面显示、特殊功能窗口涂层等方面具有广阔的应用前景。其中制备技术最成熟、应 用最广泛的当属ln 203基（In203Sn，简称IT0)薄膜。但是，由于IT0薄膜中ln 203价格昂贵...
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