技术编号：10605020
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。已发现MEMS (微电子机械系统)器件在许多现代电子器件中广泛使用。例如，MEMS 器件常见于汽车(例如，在安全气囊布局系统中)、平板电脑或智能手机。近年来，将微电子机械系统(MEMS)并入通过互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺形成的集成芯片内越来越普遍。将MEMS (例如，传感器，集成光学元件、生物芯片等)并入通过CMOS工艺形成的集成芯片内允许广泛使用高产量地制造的MEMS。发明内容为了解决现有技术中存在的问题，根据本发明的一个实施例，提供了一种单片...
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