技术编号:10608007
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。氧化镓材料禁带宽度为4.9eV,在深紫外区透过率可达80%左右,可用于制作紫外激光器,各种传感器元件及摄像元件。另外,它的击穿电场强度约为Si的20多倍,与SiC和GaN相比,采用氧化镓材料可制造出高耐压且低损耗的功率半导体元件,是一种很有前途的宽禁带氧化物半导体材料。然而,氧化镓熔点较高(1740-1820°C),易挥发和分解,同时对坩祸腐蚀较为严重,因而晶体生长过程中容易引入杂质,产生较多缺陷。由于氧化镓熔点高,并且在熔点附近容易挥发和分解,因此,生长...
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