技术编号：10609723
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在研制高精度液晶检测平台时，需配备气浮隔振系统，而气浮隔振系统的关键是寻找一种控制阀，该控制阀够通过自身的调节功能快速的补充相同量的高压气体给气囊，使检测平台快速恢复到稳定状态。目前生产的控制阀自身调节速度较慢。发明内容本发明所要解决的技术问题在于针对上述存在的问题，提供一种气浮隔振系统控制阀，反应快，调节时间短，提高调节精度。本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是一种气浮隔振系统控制阀，其特征在于，包括阀体、阀芯和阀控传动装置，所述阀体侧壁分别设置与阀...
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