一种采用脊形波导的马赫曾德光调制器晶片结构及其制备工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:10611989

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集成光学作为现代光电子技术的一个重要分支自从1969年首次提出后发展较快。随着微电子技术的蓬勃发展,平面加工技术的日臻完善,以晶体或者非晶体材料为衬底的光波导应运而生,使人们可以将光限制在与其波长相比拟的微小空间加以研究和利用。由于光限制在介质波导中传播,通过介质的电光、声光、磁光等多种物理效应对其波导中传播的光进行控制和处理。目前,集成光学己初具规模,并在光通讯中显示出独特的优越性。以妮酸铿光调制器、光开关为代表的集成光学器件在光纤通讯、光学传感和光学信...
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