技术编号:10614398
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。离子源是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。发明内容本发明目的就是为了弥补已有技术的缺陷,提供一种长杆状探针型可伸缩型离子源,离子源的头部可以在装置内通过长杆的伸缩来变换位置且头部可以任意角度旋转,从而满足一些特殊装置(如粒子加速器)内部不同位置产生等离子体的性能要求。本发明是通过以下技术方案实现的 ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。