技术编号：10614417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在半导体，氮化铝、氮化镓等氮化物半导体材料由于具有较为优异的性能，被广泛应用于光电器件的制备。对于太阳能电池或者发光二极管(LED)等器件而言，如利用玻璃作为衬底材料，既可利用玻璃的透光性，又可利用玻璃衬底的低成本特征，因此具有良好的应用前景。然而，对于性能较好的太阳能电池或者LED来说，其中的氮化物半导体材料一般要求为单晶或者晶体取向一致性好的多晶，即其中的晶体具有择优取向。然而，目前基于玻璃衬底制备氮化物半导体材料的半导体技术仍有待改进。发明内容发明人...
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