技术编号:10614437
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。可能的是,制造不同种类的晶体管。晶体管可以使用不同技术来制造。一些晶体管可以制造为包括不同功能性的层的堆叠。其它晶体管可以在包括了包括不同功能性的不同区的平面中制造。晶体管的性能可能受到所使用的材料的纯度和/或缺陷的影响。此外,不同区关于彼此的相对位置可能影响晶体管的性能。发明内容提供一种方法,包括 在半导体衬底上布置堆叠,该堆叠包括牺牲层和绝缘体层。绝缘体层至少部分地布置在半导体衬底与牺牲层之间。在堆叠内形成凹槽,其中凹槽通过堆叠延伸到半导体衬底,使得...
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