低折射率介质支撑型高对比度光栅面发射激光器的制造方法技术资料下载

技术编号:10614963

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垂直腔面发射激光器(verticalcavity surface emitting lasers,VCSEL)是一种性能优异的新型半导体激光器,具有低成本、低功耗、低阈值电流、光纤耦合效率高,易于形成二维阵列,小注入电流下高的调制速率等优异特性。在数据传输、光互联、光存储、传感和光计算等方面有很好的应用前景,并在光通信、短距离光互联、大型服务器局域网和计算机主板间的自由空间光互联等领域得到广泛应用。VCSEL通常由三五族化合物半导体材料构成,通过分子束外延...
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