技术编号：10617967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。作为对准工作台等而使用的ΧΥΘ工作台装置具有底座、可动工作台以及平面引导轴承，被平面引导轴承支承成能够移动的可动工作台在底座上在规定的平面内直线移动及旋转移动。该可动工作台的移动是通过由多个驱动单元对可动工作台施加驱动力来进行的。在专利文献1、2中，公开了通过3个驱动单元进行可动工作台的移动的ΧΥΘ工作台装置。3个驱动单元中的I个对可动工作台施加X方向的驱动力，其他的2个对可动工作台施加与X方向垂直的Y方向的驱动力。而且，能够通过这些驱动力的施加量和方向的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。