电子束辅助等离子溅镀挠性覆铜板的设备的制造方法技术资料下载

技术编号:10618166

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现行电子工业领域使用的挠性覆铜板,有采用涂布法、层压法等,但是因为无法制得超薄的铜箔,而逐步发展成采用真空溅射再电镀的新的制备方法,即以PI膜为基材,利用真空溅射镀膜的方法在PI膜上镀上金属薄层(种子层)后,再以电镀法使金属薄层上铜的厚度增加。但用现行真空磁控溅射法镀上金属薄层后,因膜层附着力较差,在后续工艺电镀过程中,溅射铜薄膜的局部区域出现膜层老化甚至于有剥落现象。即使在电镀过程中没有产生膜层脱落,但也会因为做成成品后,铜箔的剥离强度无法达到下游厂商的...
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