技术编号:10618169
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。金刚石膜具有良好的物理化学性能,能够用于光学、热学、声学、力学等诸多应用领域,金刚石膜与合金开发的涂层刀具在切割石墨、铝合金、硅材料、有色金属等材料时具有加工精度准、加工时间短、价格低廉等优势,广泛应用于金刚石涂层铣刀、钻头、拉丝模具等。目前常用的CVD金刚石膜制备方法主要为微波等离子体CVD法(MPCVD)、直流等离子体法(DCCVD)、热丝CVD法(HFCVD)这三类,对于金属刀体来说,热丝CVD法对于特殊几何形状的刀体更具优势,而且可以实现量产。现有...
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