技术编号:10620387
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。化学刻蚀是太阳能电池制备过程的常用工艺步骤,将经过曝光后的硅片放入刻蚀溶液进行刻蚀,然后再使用去离子水进行清洗。由于微电子行业需要无尘环境,因此化学刻蚀和清洗都是在无尘室中进行。但是对于同处于该无尘室内的操作人员来说,刻蚀过程中挥发的有害物质,对身体健康造成不利影响。在工业生产、科学研究中,很多地方需要用到无尘工作的环境。净化工作台可以为这些目的提供有效的工作环境,提高生产和科研效率。发明人设想,如果能将微电子工业中的化学部分放置于净化工作台内,那将杜绝化...
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