技术编号：10624251
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。集成电路芯片的制造工艺十分复杂，生产周期长，最终出货一般要经过几百个甚至上千个步骤，涉及几百个机台，而执行同一工艺步骤的机台通常被划分为一个机台群组；由于每个机台群组的产能不同，很可能发生在制品(WIP)堆积在某些瓶颈机台使得工艺步骤执行不下去，但其下游机台却产能过剩的情况。这将严重影响最终的出货量，最理想的情况是根据机台的产能状况，使WIP在每个站点平均分布，既保证产品的合理的生产周期，又不至于有长时间停止运行的机台，浪费宝贵的产能。对于一个半导体生产厂...
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