技术编号:10624254
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,在半导体领域的晶圆生产厂,为了避免晶圆在搬运和制造过程中遭受污染,操作人员需要在高等级洁净度的无尘环境下,将一定数量的晶圆片放置于一个名为“Lot”(即批次)的盒子中,并将“Lot”安装于晶圆加工设备的SMIF(Standard MechanicalInterface,标准机械化接口)中。但是,不管是在200毫米还是300毫米晶圆厂,在不知道是谁从储藏架、储存箱或搬运小车上搬运“Lot”并安装至晶圆加工设备时,操作人员的工作量和工作质量是很难界定的,...
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