技术编号：10625633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在通常情况下，刻蚀机的下电极机构如图1A所示，其由上至下依次包括静电卡盘10、绝缘体11、基座12以及安装在基座12下方区域的其他控制机构和电气接口。其中，静电卡盘10用于采用静电吸附的方式固定基片S，并且，静电卡盘与射频电源电连接，以吸引等离子体朝向其运动，静电卡盘10外圈的纵断面呈台阶状，具有下凹且相连的环形结构的第一台阶101和第二台阶102，第二台阶102位于第一台阶101的外侧，且其台阶面低于第一台阶101的台阶面，第二台阶102上用于放置基环1...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。