石墨烯的生长方法、石墨烯层及半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:10625640

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石墨稀材料是目如广泛研究的一种碳基材料,其具有尚的载流子迁移率、尚导电性能和高导热性。目前,在非金属的衬底上生长石墨烯成为研究的热点,非金属的基底可以是例如Ge,Si02,h-BN(六角氮化硼)或者陶瓷等其他半导体、绝缘的晶体。其中,晶体Ge对C原子的重组具有很好的催化活性,同时,对C原子具有极低的可溶性,二者之间的热膨胀系数差异小,因此,在Ge衬底上,如Ge(10),Ge(110)和Ge (111),通过化学气相沉积(CVD)的方法生长石墨烯成为石墨烯制...
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