半导体结构的清洗方法技术资料下载

技术编号:10625644

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NAND闪存是一种比硬盘驱动器更好的存储方案,这在不超过4GB的低容量应用中表现的尤为明显。由于人们持续追求功耗更低、重量更轻和性能更佳的产品,NAND的优势逐渐显现,对追求极致的业内人士有着非凡的吸引力。在美好的市场前景的驱使下,行业中对NAND结构进行了不懈的探索,开发出了一层为存储单元、另一层为隔离层的电容结构。而电容的深孔结构由氧化硅构成,隔离层则是由氮化硅构成。但是,这种简单的NAND结构已经不足以满足用户的需求,人们苛刻地要求存储结构的尺寸需要...
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