掺杂多晶硅层的形成方法以及半导体器件的形成方法技术资料下载

技术编号:10625668

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随着半导体制程技术的发展,在存储装置方面已开发出存取速度较快的快闪存储器(flash memory)。快闪存储器具有可多次进行信息的存入、读取和擦除等动作,且存入的信息在断电后也不会消失的特性,因此,快闪存储器已成为个人电脑和电子设备所广泛采用的一种非易失性存储器。其中,快闪存储器根据阵列结构的不同,主要分与非门快闪存储器和或非门快闪存储器,由于与非门快闪存储器比或非门快闪存储器的集成度高,所以与非门快闪存储器具有更广的应用范围。典型的与非门快闪存储器以掺...
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