技术编号:10625742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体行业正迎来新一轮的高速发展。“工欲善其事,必先利其器”的醒世恒言在激烈竞争的半导体行业中充分地发挥着作用。高品质的产品势必在生产加工过程中对高端先进的半导体设备有所依赖。在本申请的图1中,给出了一种半导体设备,该半导体设备用于加工半导体基板, 左右两端分别分为两个工作区,第一工作区101执行一道工艺,第二工作区102执行另一道工艺。由于两工作区之间间隔一段距离,需要采用一定的输运机构将第一工作区101内的基板向第二工作区102内传送。一般来讲,会利用...
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