技术编号:10625914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,开发出了各种利用半导体工艺制造的CMOS图象传感器等固体摄像装置。这种固体摄像装置针对二维阵列状排列的每个像素形成有受光部。各像素的受光部具有由例如形成于P型硅层的N型半导体层构成的光电二极管区域。通过入射到各像素的受光部的光,在光电二极管区域蓄积与光量对应的电荷。在P型硅层上形成层间绝缘膜,在该层间绝缘膜上形成例如布线层、接触区域。在这些层间绝缘膜、布线层、接触区域上形成保护膜,在保护膜上形成平坦化膜。在平坦化膜上形成滤色器层,在滤色器上配置微透...
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