技术编号：10628153
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 半导体元件被广泛用于电子产品。例如，作为半导体元件的一例的薄膜晶体管是 具有栅电极、源电极及漏电极的开关元件，被广泛应用于有源矩阵型液晶显示器、有机EL等 显示元件的有源矩阵基板的有源元件等。 现有的薄膜晶体管中，通过溅射法、蒸镀法、CVD法在半导体层表面形成由硅氮化 物膜(SiNx膜)构成的钝化膜(保护膜）。但是，在形成硅氮化物膜这样的由无机材料构成的 钝化膜的方法中，钝化膜的成膜需要在真空中将材料在等离子体化或离子化的状态下形成 膜，存在设备大规模且...
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