技术编号:10628158
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。如静电夹的基板固定器已广泛使用于包括半导体制造、太阳能电池制造、以及其他元件加工的许多制造过程中。许多基板固定器提供基板加热以及基板冷却,以便于所需的温度加工基板。为了维持适当的加热或冷却,包括静电夹的一些基板固定器的设计提供可流动于邻近或紧临于待加工的基板如晶片的背侧的气体。在如静电夹的特定基板固定器的设计中,藉由背侧气体分布系统而可提供气体,以使气体的存在可作为在静电夹面以及藉由静电夹而固定的晶片的背面之间的热导体。为了促进基板的冷却或加热,气体压力可...
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